经典真空技术

真空获得，测量，检漏，真空系统及元件。

真空冶金

真空熔炼铸造，真空脱气铸造，真空热处理，真空焊接，真空还原蒸留炭化，单晶体制备，表面处理。

等离子体科学与技术

等离子体在磁控溅射，离子镀等设备的应用。等离子体化学气相沉积，高纯度单晶薄膜制备，等离子体显示器件。

薄膜科学与技术

真空蒸发镀，真空溅射镀，真空离子镀，化学气相沉积。

电子材料和加工工艺

真空电子器件，半导体材料，光电材料，敏感材料，薄膜电子材料，薄膜材料，智能材料，沉积加工工艺，外延生长技术，掩膜和刻蚀等。

表面科学

固体表面电子结构，原子结构的研究，超高真空扫描隧道显微镜，表面性能测试。

应用表面科学

紫外光电子能谱分析离子中和谱、X光电子能谱等表面分析仪器。

纳米科学与技术

纳米材料的制备，纳米生物学，纳米机械与纳米动力学，纳米电子学，纳米医疗。