使用专利光延迟调制器(PEM)技术，该系统提供最高规格双折射灵敏度。此外，PEM提供高速操作，以50/60KHz的速度进行调制。高灵敏度与高重复精度的特性，很容易实现亚纳米级的双折射延迟量测量。

 

便捷快速的操作而设计

 仪器自带一个140x190mm（可定制其他尺寸）的光学样品台，可以通过手动或自动方式设定扫描区域。将样本放置到样品台后，可以通过软件的图形界面进行直观的设置与测量。用户界面软件能够显示延迟值和快轴角度，并且能在扫描模式下提供二维的延迟分布信息。

应用

 质量控制                                 

低延迟的双折射测量：

光滑玻璃

其他透明光学元件

激光晶体

 

光刻组件的质量验证：

光掩膜

熔石英光学元件

氟化钙镜片毛坯和窗口
 

主要特点

在低延迟双折射测量中可同时测量双折射延迟幅度和角度

精确度可重复性

高速测量（60pps）

无需移动被测样品

可自由设定测量区间范围

 

主要参数

调制频率	50KHz/60KHz
波长	632.8nm（可定制）
信号处理方案	信号捕捉卡
测量单位	延迟量: nm  轴角度：°
扫描范围	140*190mm （可定制其他范围）
可测量的延迟范围	0.05nm-158nm
延迟精度/重复性	0.01nm/±0.1nm
角度精度/重复性	0.1°/±0.5°
测量速度	60次/秒